儀器中文名稱：高解析度場發射電子微探儀
儀器英文名稱：High Resolution Hyper Probe JXA-iHP200F
儀器英文簡稱：FE-EPMA
儀器購置年月：2020年 3 月
儀器裝機年月：2020年 1 月至3月
儀器經費來源：科技部、清華大學
廠牌及型號：日本 JEOL，JXA-iHP200F
重要規格：
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8個分析單晶 TAP, LDEB, LIF, LIFH, PETL, PETH, LDE1H,LDE2H
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定性分析 Be(4)~U(92)
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定量分析 Be(4)~U(92)
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標準樣品
現 有Cr, Mg, Fe, Al, Ni, Si, Cu, Ti, ZrO2, Zr, Mo, Cd, W, Au, Ta, SiC, Si3N4, AlN, BaTiO3, Mo, Co, Mn, Y, Bi, Ag, Sb, V, C, B, C, ZnAs2, Pt, Pd, Nb, SiO2, Al2O3, MgO, TiO2, GaAs, SmF3, CdS, Ge, SrTiO3, Bi4Ge3O12, GeS, Zn, LiF, DyF, Pb, Cr2O3, YbF, FeO, FeCr2O4, Sn, GaP, Te, HgTe, Th, Hf, ZnO, InP, Rh, CdSe, EuF3, ErF3, Ru, PbO, Se, NdF3, BN, CaF2, Y2O3, KCl, CaMoO4, TiO, TiN, Fe2O3, FeS, ZnS, Y3Al5O12, Ag2S, BaF2, LaB6, TbSi2, PbTe
主要附件：
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工作站級電腦
儀器性能：
可做X光微區定性、定量分析與二次電子成像（SEI），反射電子成像（BEI），線掃瞄（line scanning, line profile），與區域分析 (color mapping)等。
服務項目
各種式樣之定性定量分析，以及影像拍照。包括：
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各種金屬及合金的定性、定量分析。
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陶瓷、玻璃等成分之分析。
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其他非磁性材料之分析。
儀器預約辦法
(本儀器服務 對象原則上以國內大學與研究機構為主)
本 儀器預約辦法如下（1）從未做過FE-EPMA的使用者在第一次預約前,一定要與技術員詳談,否則預約無效.（2）每月20日AM 12:00起接受各校.研究單位上網預約(每月20日預約下月份，如有變更.將另行公佈預約日期)（3）預約時請留真實姓名及連絡電話，以方便臨時有狀況時可緊急通知。（4）實驗當日請 攜帶委託單，否則不接受委託。 （5）預約不到者,禁用3個月(如臨時因故要取消,請於前五日(工作天)前來電取消)否則，基本費照收。(6) 一年內取消次數超過兩次者，禁止再預約。
收費標準
《科技部計畫單位》
1.使用時間以四小時為單元，收費1,000元
2.電腦定性分析壹次500元 (包括輕型元素)
3.定量分析壹個點基本價300元。(三種元素以內以基本價計算，三個元素以上每多ㄧ個元素多100元)
4.line profile (三個元素以內) 基本價500元，每超過一個元素再加100元
5.Color mapping (二個元素以內，以不超過256´256為基準) 基本價1,000元，每超過一個元素再加500元
6.SEI、BEI照片一張各100元
7.鍍碳一個樣品300元
《工業界、財團法人、私人企業》
1.使用時間以三小時為單元，收費10000元。
2.電腦定性分析壹次3000元 (包括輕型元素)。
3.定量分析壹個點，(三個元素以內) 基本價2000元，每超過一個元素再加1000元
4.X-ray mapping與line profile (三個元素以內) 基本價3000元，每超過一個元素再加500元。
5.Color mapping (三個元素以內，以不超過256´256為基準) 基本價6000元，每超過一個元素再加1000元。
6.SEI、BEI照片一張各400元。
7.鍍碳或鍍白金，每個3000元。
聯絡人
指導教授: 杜正恭教授
TEL: (03)5715131 Ext.31164 或 5712686
E-MAIL: jgd@mx.nthu.edu.tw
技術員 : 蔡淑月小姐
TEL: (03)5715131 Ext.35414
E-MAIL: sytsai@mx.nthu.edu.tw
儀器室地點：
清華大學材料科技館112室
基本參考資料：
(1)"Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis", 3rd Ed. J.I.Goldstein et al. (Plenum Press, 2003)
(2)"Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis", R.E.Lee, (PTR Prentice Hall, 1993)
(3)"Scanning Electron Microscopy and X-ray Microscopy", 2nd Ed. J.I.Goldstein et al. (Plenum Press, 1992)
(4)"Advanced Scanning Electron Microscopy and X-ray Microanalysis", Newbury et al. (Plenum Press, 1986)
(5)"Scanning Electron Microscory and X-Ray Microanalysis", J.I.Goldstein et al. (Plenum, 1981)